​微型导轨定制长度精度：指微型导轨定制实际长度与设计长度的符合程度。一般来说，微型导轨的长度精度通常控制在 ±0.01mm 至 ±0.05mm 之间。例如，对于一些高精度的光学设备或半导体制造设备中使用的微型导轨，要求长度精度达到 ±0.01mm，以确保设备的高精度定位和运动控制。
导轨宽度精度：即导轨宽度尺寸的准确性。其精度一般在 ±0.005mm 至 ±0.02mm 范围内。像在精密仪器的传动系统中，微型导轨的宽度精度若能达到 ±0.005mm，可有效减少导轨与滑块之间的间隙，提高运动的平稳性和准确性。
直线度精度：直线度是衡量导轨在纵向平面内直线程度的指标。通常，微型导轨的直线度精度要求在每 200mm 长度内不超过 ±0.002mm 至 ±0.005mm。例如在高精度的坐标测量机中，需要微型导轨具有极高的直线度精度，以保证测量探头能够准确地沿着直线轨迹移动，从而提高测量精度。
平面度精度：平面度反映了导轨表面在横向平面内的平整程度。微型导轨的平面度精度一般要求在每 100mm×100mm 的面积内，平面度误差不超过 ±0.001mm 至 ±0.003mm。在一些对表面平整度要求极高的光学镜片研磨设备中，微型导轨的平面度精度达到 ±0.001mm，可确保镜片在研磨过程中受到均匀的压力，提高镜片的研磨质量。
平行度精度：包括导轨两侧面之间的平行度以及导轨与安装基面之间的平行度。微型导轨两侧面的平行度精度通常控制在 ±0.002mm 至 ±0.005mm 之间；导轨与安装基面的平行度精度一般要求在每 100mm 长度内，误差不超过 ±0.003mm 至 ±0.008mm。以自动化生产线中的微型导轨为例，两侧面平行度精度高可使滑块在导轨上平稳运行，减少磨损和卡滞现象；与安装基面的平行度精度高则能保证整个传动系统的稳定性和可靠性。
垂直度精度：主要是指导轨侧面与底面之间的垂直度。微型导轨的垂直度精度一般要求在 ±0.002mm 至 ±0.005mm 之间。在一些需要进行高精度三维运动控制的设备中，如激光加工设备，导轨的垂直度精度直接影响到加工精度和质量，若垂直度误差过大，可能导致激光束在加工过程中出现偏差，影响加工效果。